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發表時間: 2021-06-21 14:07:51
作者: 深圳市金徠技術有限公司
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IC芯片制造領域中,等離子體處理技術己是一種不可替代的成熟工藝,不論在芯片源離子的注入,還是晶元的鍍膜,亦或是我們的低溫等離子表面處理設備所能達到的:在晶元表面去除氧化膜、有機物、去掩膜等超凈化處理及表面活化提高晶元表面浸潤性。
為了確保清潔,持久和電阻低的粘合,許多IC制造商利用等離子技術在膠合或焊接之前清潔每個接觸點。半導體的等離子體處理可以顯著提高可靠性。
5.激活:改變表面屬性以創建功能區域