廣東金徠-等離子刻蝕機

　　適用于所有的基材及復雜的幾何構形都可以進行等離子體活化、刻蝕、清洗，鍍膜。

　　處理時的因熱負荷及機械負荷都很低，故也可處理敏感性材料。

　　典型應用：等離子體清除浮渣、光阻材料剝離、各向異性和各向同性失效分析應用、等離子刻蝕反應、鈍化層蝕刻、聚亞酰胺蝕刻等。

　　設備參數

　　處理面：直徑10.5”不銹鋼裝載裝置，水冷陶瓷絕緣

　　真空腔：內徑15”陽極電鍍鋁，表面氧化處理

　　處理均勻性±5%

　　水冷機：W16”× D36”× H24”

　　氣體箱：W30”× D24”× H12”

　　外部連接

　　電源：220V AC? 30mA 50/60Hz

　　壓縮空氣或氮氣：80-100PSI 1/4”快速接頭QC

　　處理氣體：15PSI? 100sccm? 1/4”外螺紋VCR接頭

　　排氣：50CFM KF40快卸緊固法蘭

　　水冷：30-60PSI 3/8”快速接頭QC

　　基本配置

　　電源配給，RIE

　　安全互鎖裝置

　　通訊接口模塊

　　設備水電氣連接系統

　　控制器

　　RIE配置

　　等離子射頻電源 RF600W（可選裝RF1000W）

　　氣體流量控制：MFC質量流量計×4（1路適用于氯氣）

　　裝載配置：真空裝載腔真空系統、真空裝載腔加熱組件

　　控制系統：電腦控制、標準19”液晶顯示屏

　　真空泵：分子渦輪泵、機械泵（干泵）8cfm-C

　　真空控制組件、射頻電極組件、真空存儲腔

　　產品關鍵詞：常溫常壓等離子清洗機、小型等離子清洗機、常溫常壓等離子設備、等離子清洗機廠家、等離子除塵、等離子刻蝕、等離子接枝、等離子沉積、等離子改性、等離子活化；真空等離子清洗、真空等離子除塵、真空等離子刻蝕、真空等離子接枝、真空等離子沉積、真空等離子改性、真空等離子活化；plasma、plasma clear、plasma treatment system、plasma treatment、plasma system。