歡迎光臨金徠--等離子體解決方案專家
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發表時間: 2021-03-05 10:18:48
作者: 深圳市金徠技術有限公司
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適用于所有的基材及復雜的幾何構形都可以進行等離子體活化、刻蝕、清洗,鍍膜。
處理時的因熱負荷及機械負荷都很低,故也可處理敏感性材料。
典型應用:等離子體清除浮渣、光阻材料剝離、各向異性和各向同性失效分析應用、等離子刻蝕反應、鈍化層蝕刻、聚亞酰胺蝕刻等。
設備參數
處理面:直徑10.5”不銹鋼裝載裝置,水冷陶瓷絕緣
真空腔:內徑15”陽極電鍍鋁,表面氧化處理
處理均勻性±5%
水冷機:W16”× D36”× H24”
氣體箱:W30”× D24”× H12”
外部連接
電源:220V AC? 30mA 50/60Hz
壓縮空氣或氮氣:80-100PSI 1/4”快速接頭QC
處理氣體:15PSI? 100sccm? 1/4”外螺紋VCR接頭
排氣:50CFM KF40快卸緊固法蘭
水冷:30-60PSI 3/8”快速接頭QC
基本配置
電源配給,RIE
安全互鎖裝置
通訊接口模塊
設備水電氣連接系統
控制器
RIE配置
等離子射頻電源 RF600W(可選裝RF1000W)
氣體流量控制:MFC質量流量計×4(1路適用于氯氣)
裝載配置:真空裝載腔真空系統、真空裝載腔加熱組件
控制系統:電腦控制、標準19”液晶顯示屏
真空泵:分子渦輪泵、機械泵(干泵)8cfm-C
真空控制組件、射頻電極組件、真空存儲腔
產品關鍵詞:常溫常壓等離子清洗機、小型等離子清洗機、常溫常壓等離子設備、等離子清洗機廠家、等離子除塵、等離子刻蝕、等離子接枝、等離子沉積、等離子改性、等離子活化;真空等離子清洗、真空等離子除塵、真空等離子刻蝕、真空等離子接枝、真空等離子沉積、真空等離子改性、真空等離子活化;plasma、plasma clear、plasma treatment system、plasma treatment、plasma system。